産品時間：2021-08-27
FS4001系(xì)列氣體流量監測傳感器适(shì)用于(yú)各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安(ān)裝、不需要(yào)溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的(de)傳統流量傳感器。
産品簡介：
FS4001系列(liè) 氣體流量監(jiān)測傳感(gǎn)器 是專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣體的測量和過程(chéng)控制(zhì)而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（ MEMS ）流量傳感(gǎn)芯片來制作。
FS4001系列 氣體流量監測傳感器 适用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可替代容積式或壓(yā)差式的傳統流量傳感(gǎn)器。
産品特點：
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傳感器靈敏度高
,
有極小的始動流量(liàng)
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傳感器芯片采用熱(rè)質量流量計量
,
無需(xū)溫度壓力補償
,
保證了傳
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感器的高精度(dù)計量
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在單個芯片上實現了(le)多傳感器集成
,
使傳感器的量程比大大提高
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傳感器的零(líng)點(diǎn)穩定度高
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全(quán)量程高穩(wěn)定性
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全量程高精确(què)度和(hé)優良的重複性
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低功耗
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低壓損
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響(xiǎng)應時間快
機(jī)械尺寸：
主要參(cān)數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀(dú)數 |
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零(líng)點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出(chū)飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(dù) |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣（或其他氣體(tǐ)），20oC，101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
