産品時間：2021-08-27
FS4001系列小(xiǎo)流量氣體質量流量傳感器是專門爲各(gè)類小流量氣體的測量和(hé)過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片來制作(zuò)，适用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之(zhī)可用于各類管徑，成本低、易安(ān)裝、不(bú)需要溫度壓力補償(cháng)，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器(qì)。
産品簡介：
FS4001系列小流量(liàng)氣體質量流量傳感器 是專門爲各類小流(liú)量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯(xīn)片來制(zhì)作，适用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可(kě)用于各類管徑，成本低、易(yì)安裝、不需要溫度(dù)壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感(gǎn)器。
産品特點 ：
FS4001系列小流量氣體質量流量(liàng)傳感器
靈敏度高,有小的始動流量傳感器芯片采用熱質量(liàng)流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量在單(dān)個芯片上實現了多傳感器集成,使(shǐ)傳感(gǎn)器的量程比大大提高傳感器的零(líng)點穩定度高全(quán)量程(chéng)高(gāo)穩定性全量程高精(jīng)确度和優(yōu)良的重複性低功耗低壓損響應時(shí)間快
主要參數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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量程比 |
≥100:1 |
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精(jīng) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線(xiàn)性，RS232/模拟(nǐ)電(diàn)壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(dà)工作(zuò)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他氣體(tǐ)），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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機械尺寸：
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
