産品時間(jiān)：2021-08-31
氣體檢測/測漏流量計傳感器靈敏(mǐn)度高,有極小的始動流(liú)量
- 傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuán)感器集成,使傳感器的量(liàng)程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高(gāo) 全量程高穩定性
氣體檢測/測漏流量計
産品(pǐn)簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣(qì)體質量流量傳感器是專門(mén)爲各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系(xì)列傳感器均采用本公司自主研發的微(wēi)機電系統（MEMS）流(liú)量傳感(gǎn)芯片來制作，适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本(běn)低、易安裝、不需(xū)要溫度壓力補償，可替代(dài)容積(jī)式或壓差式的傳統流量傳感器。
氣體檢測/測漏流量計(jì)産品(pǐn)特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流(liú)量
- 傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償(cháng),保證了傳
- 感器的高精度(dù)計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的(de)量(liàng)程比大大提高
- 傳感器的零點穩定(dìng)度高(gāo)
- 全量程高穩定性
- 全量程高精(jīng)确度和優(yōu)良的重(zhòng)複性
- 低功耗
- 低壓(yā)損(sǔn)
- 響應時間快(kuài)
主要參數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位(wèi) |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸(shū)出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shì) |
線性，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gōng)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gōng)作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露(lù)） |
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機械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
