産(chǎn)品時間：2021-08-31
微小氣體流量計FS4001專門爲各類小流量氣體(tǐ)的測量和過程控制而設計的(de)。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來制作，适用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之(zhī)可用于各類管(guǎn)徑，成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可替代(dài)容積式或壓差式的傳統流量傳(chuán)感器。
微小(xiǎo)氣體流量計FS4001
産品簡介：
FS4001
系列小流量(liàng)氣體質量流量傳感器是廣州(zhōu)迪川儀器儀表有限公司專門爲各類小流量氣體(tǐ)的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（
MEMS
）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用(yòng)于各(gè)類清(qīng)潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成(chéng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補償(cháng)，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
微(wēi)小(xiǎo)氣體(tǐ)流量計FS4001
産品特點：
-
傳感器靈敏(mǐn)度高
,
有極小的(de)始動流量
-
傳感器芯(xīn)片采(cǎi)用熱質量流量計量
,
無需溫度壓力補償
,
保證了傳
-
感器的高精度計量
-
在單個芯片上(shàng)實現了多傳(chuán)感器集成
,
使傳感器的量程比大大提高
-
傳感器的零(líng)點穩定度高
-
全量(liàng)程高穩定性
-
全量程高精度和優良的重複性
-
低功耗
-
低壓(yā)損
-
響應時間快
主要參數：
FS4001系列(liè)微小流量計
|
性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
|
|
通 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大(dà)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程比 |
2132132132131231312100:1 |
|
|
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重複性 |
0.25 |
% 讀數(shù) |
|
|
零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
|
|
輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸出方(fāng)式 |
線性， RS232/ 模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
|
|
|
大流(liú)量壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
工作濕度 |
<95%RH （無結冰、無(wú)凝露） |
|
|
|
機械接口 |
可拆式軟管接頭 |
|
|
|
校準方式(shì) |
空氣（或其他氣體(tǐ)）， 20oC ， 101.325kPa |
|
|
|
重量 |
15 |
g |
|
FS4001系列微小流量計訂貨詳情請： 85628522
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
