産(chǎn)品時間:2021-08-30
mf4001廣(guǎng)東微小口(kǒu)徑氣體質量流(liú)量計是專(zhuān)門爲(wèi)各類小流量氣體的(de)測(cè)量和過(guò)程控(kòng)制而設計(jì)的。這(zhè)一系列傳(chuán)感器均(jun1)采用本公司自(zì)主研發的微(wēi)機電系統(mems)流(liú)量傳感芯片(piàn)來制作,适(shì)用于各類(lèi)清(qīng)潔(jié)氣體(tǐ)。*的封(fēng)裝(zhuāng)技(jì)術使(shǐ)之可(kě)用于各類(lèi)管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要(yào)溫度壓(yā)力補(bǔ)償,可替代(dài)容積式或(huò)壓差(chà)式的傳統(tǒng)流量(liàng)傳感器。
mf4001廣(guǎng)東微(wēi)小口徑氣(qì)體質(zhì)量流(liú)量計(jì)
産品(pǐn)特點(diǎn):
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傳感(gǎn)器靈(líng)敏度高
,
有(yǒu)極小的始(shǐ)動流(liú)量
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傳感器(qì)芯片(piàn)采用(yòng)熱質(zhì)量流量計量
,
無需溫(wēn)度壓(yā)力補償(cháng)
,
保(bǎo)證了(le)傳(chuán)
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感(gǎn)器的高(gāo)精度計量
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在單個(gè)芯片(piàn)上(shàng)實(shí)現了(le)多傳(chuán)感器集成(chéng)
,
使傳(chuán)感器(qì)的量(liàng)程比大大(dà)提高(gāo)
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傳感(gǎn)器的(de)零點(diǎn)穩定(dìng)度高
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全量(liàng)程高(gāo)穩定性
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全量程(chéng)高精(jīng)确度和優良(liáng)的(de)重複性
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低功耗(hào)
-
低壓(yā)損
-
響(xiǎng)應時間(jiān)快
mf4001廣東微小(xiǎo)口徑氣(qì)體質量(liàng)流量(liàng)計 機械尺寸:
主要參數:
性能參數(shù) |
fs4001 |
單(dān)位 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
slpm |
量程(chéng)比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2fs) |
% |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mv |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oc |
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響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18vdc,50ma |
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輸出方式(shì) |
線性(xìng),rs232/模拟電壓(yā)0.5~4.5vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
大工作壓力 |
0.5 |
mpa |
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工作(zuò)溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oc |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oc |
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工作濕度(dù) |
<95%rh(無結(jié)冰、無凝露) |
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機械(xiè)接口(kǒu) |
可拆式軟(ruǎn)管接頭 |
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校準方式(shì) |
空氣(或其他(tā)氣體),20oc,101.325kpa |
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重量 |
15 |
g |