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mf4001廣東(dōng)微小口(kǒu)徑氣體(tǐ)質量(liàng)流量計

産(chǎn)品時間:2021-08-30

簡(jiǎn)要描述(shù):

mf4001廣(guǎng)東微小口(kǒu)徑氣體質量流(liú)量計是專(zhuān)門爲(wèi)各類小流量氣體的(de)測(cè)量和過(guò)程控(kòng)制而設計(jì)的。這(zhè)一系列傳(chuán)感器均(jun1)采用本公司自(zì)主研發的微(wēi)機電系統(mems)流(liú)量傳感芯片(piàn)來制作,适(shì)用于各類(lèi)清(qīng)潔(jié)氣體(tǐ)。*的封(fēng)裝(zhuāng)技(jì)術使(shǐ)之可(kě)用于各類(lèi)管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要(yào)溫度壓(yā)力補(bǔ)償,可替代(dài)容積式或(huò)壓差(chà)式的傳統(tǒng)流量(liàng)傳感器。

mf4001廣(guǎng)東微(wēi)小口徑氣(qì)體質(zhì)量流(liú)量計(jì) 産品(pǐn)特點(diǎn):
  - 傳感(gǎn)器靈(líng)敏度高 , 有(yǒu)極小的始(shǐ)動流(liú)量
  - 傳感器(qì)芯片(piàn)采用(yòng)熱質(zhì)量流量計量 , 無需溫(wēn)度壓(yā)力補償(cháng) , 保(bǎo)證了(le)傳(chuán)
  - 感(gǎn)器的高(gāo)精度計量
  - 在單個(gè)芯片(piàn)上(shàng)實(shí)現了(le)多傳(chuán)感器集成(chéng) , 使傳(chuán)感器(qì)的量(liàng)程比大大(dà)提高(gāo)
  - 傳感(gǎn)器的(de)零點(diǎn)穩定(dìng)度高
  - 全量(liàng)程高(gāo)穩定性
  - 全量程(chéng)高精(jīng)确度和優良(liáng)的(de)重複性
  - 低功耗(hào)
  - 低壓(yā)損
  - 響(xiǎng)應時間(jiān)快

mf4001廣東微小(xiǎo)口徑氣(qì)體質量(liàng)流量(liàng)計 機械尺寸:


主要參數:

性能參數(shù)

fs4001

單(dān)位

通(tōng) 徑

1.0

1.8

mm

大流量

30, 100, 200

500, 1000

slpm

量程(chéng)比

>100:1

 

精 度

±(1.5+0.2fs)

%

重(zhòng)複性

0.25

%讀數

零點輸出(chū)飄移

±30

mv

輸出飄移(yí)

±0.12

%/oc

響應時(shí)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuò)電源

8~18vdc,50ma

 

輸出方式(shì)

線性(xìng),rs232/模拟電壓(yā)0.5~4.5vdc

 

大流量壓(yā)損

350

300

pa

大工作壓力

0.5

mpa

工作(zuò)溫(wēn)度

-10 ~ +55

oc

存儲溫度(dù)

-20 ~ +65

oc

工作濕度(dù)

<95%rh(無結(jié)冰、無凝露)

 

機械(xiè)接口(kǒu)

可拆式軟(ruǎn)管接頭

 

校準方式(shì)

空氣(或其他(tā)氣體),20oc,101.325kpa

 

重量

15

g

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