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氣(qì)體流量監測傳感器

産(chǎn)品時間:2021-08-27

簡要描(miáo)述:

fs4001系列(liè)氣體流(liú)量監測傳(chuán)感器适用于各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術(shù)使之可用(yòng)于各類管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要溫度(dù)壓力補償,可替(tì)代容(róng)積式或(huò)壓差式(shì)的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器。

産品簡介:

fs4001系(xì)列 氣(qì)體(tǐ)流量(liàng)監測傳感器 是專(zhuān)門(mén)爲各類小流量氣體的測(cè)量和(hé)過程(chéng)控制(zhì)而設(shè)計的(de)。這一(yī)系列傳(chuán)感器均采用(yòng)本公(gōng)司自(zì)主(zhǔ)研發的(de)微機電系(xì)統( mems )流量傳感芯(xīn)片來制作。

fs4001系列(liè) 氣體流量監測傳感器(qì) 适用于(yú)各類(lèi)清潔(jié)氣體(tǐ)。*的封裝技(jì)術使(shǐ)之可用于(yú)各類管徑(jìng),成本(běn)低、易安(ān)裝、不需(xū)要溫度(dù)壓力補償,可替代容積(jī)式或(huò)壓差式的傳統(tǒng)流量傳感(gǎn)器。


産(chǎn)品特(tè)點:
  - 傳(chuán)感器靈敏(mǐn)度高(gāo) , 有極小的(de)始動流量(liàng)
  - 傳感器芯片采(cǎi)用熱(rè)質量流量(liàng)計(jì)量(liàng) , 無需(xū)溫度壓力補償(cháng) , 保證(zhèng)了傳(chuán)
  - 感(gǎn)器的高(gāo)精度(dù)計(jì)量
  - 在單個(gè)芯(xīn)片上(shàng)實現(xiàn)了多傳感(gǎn)器集成 , 使(shǐ)傳感(gǎn)器的量程(chéng)比大大提高
  - 傳感器的零(líng)點穩定(dìng)度(dù)高
  - 全量程高穩(wěn)定性(xìng)
  - 全量程高精确度和(hé)優良的重複性(xìng)
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應(yīng)時(shí)間快

機械(xiè)尺(chǐ)寸:


主要參(cān)數:

性能參數(shù)

fs4001

單位

通 徑

1.0

1.8

mm

大流量

30, 100, 200

500, 1000

slpm

量程比(bǐ)

>100:1

 

精 度

±(1.5+0.2fs)

%

重複性

0.25

%讀數

零點(diǎn)輸出(chū)飄移

±30

mv

輸出飄移

±0.12

%/oc

響(xiǎng)應時間(jiān)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuò)電源

8~18vdc,50ma

 

輸出(chū)方式(shì)

線性(xìng),rs232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5vdc

 

大流量壓(yā)損

350

300

pa

大工作壓力(lì)

0.5

mpa

工作溫(wēn)度(dù)

-10 ~ +55

oc

存儲(chǔ)溫度

-20 ~ +65

oc

工(gōng)作濕度(dù)

<95%rh(無結冰、無(wú)凝露(lù))

 

機械接(jiē)口

可拆(chāi)式軟管接頭

 

校(xiào)準方式

空氣(或(huò)其他(tā)氣體(tǐ)),20oc,101.325kpa

 

重量(liàng)

15

g

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